nền tảng đĩa màuĿǰ̲Ըĸ߱౨ںӼƻ̨ͬ̽һմһΪûҪǸ630֮ǰץȡ֤һ˲żܶгγµijϾԼ۸γɴйͳĻؼҳԷǶĻعڸѹؽǶڹԱɲ˵ؼҳԷƺáϡΪйѧԺ羭оξѧоҸ֪ҪԭĴԼ
ǵһӦ仰ںͼھôûкͼϵȷʵΣйӸӳ˵϶СҶٽȫλѰûһۼӾĽǶȿͨDzܵҲʮַʶܿСҶý17ձǰоȫоƬ豸̡ASML̨ȽEUVߣֵ̻1.2ԪĿǰҵѴɹʶʹEUV̻ʹ뵼оƬ7nm5nmʱϢ̨൱оȥȫ豸2019ǰ
Ϥ130ӡƷġ2017ﶬҾĿ¼ᡷ帽ĵͼд̨ǴҲϢͨذΪòŲΡͼרжͨĵһͰPUAýرС鿯ijƣΪʲôЩǰѧѧרָ9095ǰƶɳǸԸĻ˽ĽӴ̸żIJۻʴҲγгʦΪγ̵շձϹĿIJһδ˵ڽϴĵǷɷάάרŷPUAĹ֯СñǰкܶܺŮԱ·ƭСñ֯ҷԤPUAԷŮƭ
ʮǿӦ÷չְķͳﱾкͷҵԱסǿ֯ЭܲӦְӿ콨Ľİ֯ҵչͳзҪùλͨԽӷƽ̨˫ЧԽӺͽǼDZջĿγȫϽſγ̵ѧҲʼָѧԱöԷʧȥ⼸Ὣ̨־֮ͬʱɴؾ̨ܾᲹνòӢĺ